ເທັກໂນໂລຢີການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີເປັນການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີເລເຊີທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດໃນຂະແໜງວິສະວະກຳ. ຫຼັກການພື້ນຖານຂອງມັນໃຊ້ປະໂຫຍດຈາກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານສູງຂອງເລເຊີເພື່ອເຮັດໃຫ້ສາມາດພົວພັນກັນລະຫວ່າງລັງສີເລເຊີ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຍຶດຕິດກັບຊັ້ນວາງຂອງຊິ້ນວຽກ. ສິ່ງປົນເປື້ອນຖືກແຍກອອກຈາກຊັ້ນວາງໂດຍຜ່ານການຂະຫຍາຍຕົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທັນທີ, ການລະລາຍ, ການລະເຫີຍຂອງອາຍແກັສ ແລະ ກົນໄກອື່ນໆ. ເຕັກໂນໂລຊີການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີມີປະສິດທິພາບສູງ, ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ການອະນຸລັກພະລັງງານ, ໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງສຳເລັດຜົນໃນການທຳຄວາມສະອາດແມ່ພິມຢາງລົດ, ການກຳຈັດສີຕົວຖັງເຮືອບິນ, ການຟື້ນຟູວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທຳ ແລະ ຂົງເຂດອື່ນໆ.
ເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດແບບດັ້ງເດີມປະກອບມີການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍແຮງສຽດທານກົນຈັກ (ການພົ່ນຊາຍ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍນ້ຳແຮງດັນສູງ, ແລະອື່ນໆ), ການເຮັດຄວາມສະອາດການກັດກ່ອນທາງເຄມີ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ, ການເຮັດຄວາມສະອາດນ້ຳກ້ອນແຫ້ງ ແລະ ອື່ນໆ. ເຕັກໂນໂລຊີເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ. ຕົວຢ່າງ, ການພົ່ນຊາຍສາມາດກຳຈັດຈຸດສະໜິມໂລຫະ, ຮອຍຂູດພື້ນຜິວ ແລະ ການເຄືອບຮູບຮ່າງເທິງແຜງວົງຈອນໂດຍການເລືອກສານຂັດທີ່ມີຄວາມແຂງແຕກຕ່າງກັນ. ການເຮັດຄວາມສະອາດການກັດກ່ອນທາງເຄມີແມ່ນໄດ້ຮັບການຍອມຮັບຢ່າງກວ້າງຂວາງສຳລັບການກຳຈັດຕະກອນນ້ຳມັນເທິງພື້ນຜິວອຸປະກອນ, ການເຮັດຄວາມສະອາດຕະກອນໝໍ້ຕົ້ມນ້ຳ ແລະ ການເປີດທໍ່ສົ່ງນ້ຳມັນ. ໃນຂະນະທີ່ວິທີການແບບດັ້ງເດີມມີຄວາມສົມບູນແບບ, ມີຂໍ້ເສຍທີ່ໜ້າສັງເກດ: ການພົ່ນຊາຍສາມາດທຳລາຍພື້ນຜິວທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວໄດ້ງ່າຍ, ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດການກັດກ່ອນທາງເຄມີເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ອາດຈະກັດກ່ອນຊັ້ນຮອງພື້ນຖ້າໃຊ້ງານບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ການເກີດຂຶ້ນຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີໝາຍເຖິງການປະຕິວັດໃນເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດ. ໂດຍການນຳໃຊ້ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານສູງ, ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ການສົ່ງຕໍ່ທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງເລເຊີ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີມີປະສິດທິພາບດີກ່ວາວິທີການແບບດັ້ງເດີມໃນດ້ານປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມສະອາດ, ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຕຳແໜ່ງ. ມັນກຳຈັດມົນລະພິດຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມຈາກການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍສານເຄມີ ແລະ ບໍ່ກໍ່ໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ຫຼັກການຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີ
ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີແມ່ນຫຍັງແທ້? ມັນໝາຍເຖິງຂະບວນການກຳຈັດວັດສະດຸອອກຈາກພື້ນຜິວແຂງ (ຫຼືບາງຄັ້ງກໍ່ເປັນຂອງແຫຼວ) ຜ່ານການສ່ອງແສງຂອງລຳແສງເລເຊີ. ທີ່ຄວາມຟູອໍເລເຊີຕ່ຳ, ພະລັງງານເລເຊີທີ່ດູດຊຶມຈະເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ລະເຫີຍ ຫຼື ການລະເຫີຍ. ທີ່ຄວາມຟູອໍເລເຊີສູງ, ວັດສະດຸມັກຈະປ່ຽນເປັນພລາສມາ. ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີມັກຈະໃຊ້ເລເຊີແບບກະພິບສຳລັບການກຳຈັດວັດສະດຸ, ເຖິງແມ່ນວ່າລຳແສງເລເຊີຄື້ນຕໍ່ເນື່ອງສາມາດກຳຈັດວັດສະດຸໄດ້ດ້ວຍຄວາມເຂັ້ມທີ່ພຽງພໍ. ເລເຊີ excimer ອັລຕຣາໄວໂອເລັດເລິກ, ທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນປະມານ 200 nm, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການລະລາຍດ້ວຍແສງ.
ຄວາມເລິກຂອງພະລັງງານເລເຊີການດູດຊຶມ ແລະ ປະລິມານຂອງວັດສະດຸທີ່ຖືກກຳຈັດອອກຕໍ່ກຳມະຈອນແມ່ນຂຶ້ນກັບຄຸນສົມບັດທາງແສງຂອງວັດສະດຸ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຄວາມຍາວຄື້ນເລເຊີ ແລະ ໄລຍະເວລາຂອງກຳມະຈອນ. ມວນສານທັງໝົດທີ່ຖືກກຳຈັດອອກຈາກເປົ້າໝາຍຕໍ່ກຳມະຈອນແມ່ນຖືກນິຍາມວ່າເປັນອັດຕາການກຳຈັດ. ຄຸນລັກສະນະຂອງລັງສີເລເຊີ ເຊັ່ນ: ຄວາມໄວໃນການສະແກນ ແລະ ການຄອບຄຸມເສັ້ນມີອິດທິພົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຂະບວນການກຳຈັດ.
ປະເພດຂອງເຕັກໂນໂລຊີການເຮັດຄວາມສະອາດເລເຊີ
1) ການຊັກແຫ້ງດ້ວຍເລເຊີ
ການເຮັດຄວາມສະອາດແຫ້ງດ້ວຍເລເຊີປະກອບມີການສ່ອງແສງເລເຊີໂດຍກົງໃສ່ຊິ້ນວຽກ. ສິ່ງປົນເປື້ອນ ຫຼື ຊັ້ນຮອງພື້ນດູດຊຶມພະລັງງານເລເຊີ, ເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຂອງມັນເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ກະຕຸ້ນການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ການສັ່ນສະເທືອນທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ເຊິ່ງແຍກສິ່ງປົນເປື້ອນອອກຈາກຊັ້ນຮອງພື້ນ. ມັນເກີດຂຶ້ນໃນສອງສະຖານະການຄື: ສິ່ງປົນເປື້ອນພື້ນຜິວດູດຊຶມພະລັງງານເລເຊີ ແລະ ຂະຫຍາຍ, ຫຼື ຊັ້ນຮອງພື້ນດູດຊຶມພະລັງງານ ແລະ ສັ່ນສະເທືອນທາງຄວາມຮ້ອນ.
ໃນປີ 1969, SM Bedair ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານໄດ້ພົບວ່າການປະຕິບັດໜ້າດິນແບບດັ້ງເດີມ (ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ, ການກັດກ່ອນທາງເຄມີ, ການພົ່ນຊາຍ) ລ້ວນແຕ່ມີຂໍ້ຈຳກັດ. ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ສັງເກດເຫັນວ່າຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານສູງຂອງເລເຊີທີ່ໂຟກັສສາມາດເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸໜ້າດິນລະເຫີຍໄດ້ໂດຍບໍ່ທຳລາຍຊັ້ນຮອງພື້ນ. ການທົດລອງໄດ້ຢືນຢັນວ່າເລເຊີ ruby Q-switched ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານ 30 MW/cm² ສາມາດເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງປົນເປື້ອນຈາກໜ້າດິນຊິລິໂຄນໂດຍບໍ່ທຳລາຍຊັ້ນຮອງພື້ນ, ເຊິ່ງເປັນການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດການເຮັດຄວາມສະອາດແຫ້ງດ້ວຍເລເຊີຄັ້ງທຳອິດ.
ອັດຕາການເຮັດຄວາມສະອາດໂດຍລວມສາມາດສະແດງອອກຜ່ານອັດຕາການແຍກເສດຟິມດັ່ງລຸ່ມນີ້:
(ສູດ: ε—ດັດຊະນີພະລັງງານກຳມະຈອນເລເຊີ; h—ດັດຊະນີຄວາມໜາຂອງຟິມປົນເປື້ອນ; E—ດັດຊະນີໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງຟິມ)
2) ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບປຽກດ້ວຍເລເຊີ
ກ່ອນການສ່ອງແສງເລເຊີແບບກະພິບ, ຟິມແຫຼວຈະຖືກເຄືອບໄວ້ກ່ອນເທິງໜ້າຜິວຂອງຊິ້ນວຽກ. ພະລັງງານເລເຊີຈະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ ແລະ ລະເຫີຍຟິມ, ເຮັດໃຫ້ເກີດຄື້ນຊ໊ອກທັນທີທີ່ແຍກອະນຸພາກທີ່ປົນເປື້ອນອອກຈາກຊັ້ນຮອງພື້ນ. ວິທີການນີ້ບໍ່ຕ້ອງການປະຕິກິລິຍາເຄມີລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ຟິມແຫຼວ, ເຊິ່ງຈຳກັດວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໄດ້.
ໃນປີ 1991, K. Imen ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານ ໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫາສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເຫຼືອຢູ່ໃນແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ໂລຫະຫຼັງຈາກການທຳຄວາມສະອາດແບບທຳມະດາ. ພວກເຂົາໄດ້ເຄືອບຊັ້ນຮອງພື້ນດ້ວຍຟິມດູດຊຶມດ້ວຍເລເຊີ ແລະ ສ່ອງແສງມັນດ້ວຍເລເຊີ CO₂. ຟິມດູດຊຶມພະລັງງານ, ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ, ຕົ້ມ ແລະ ເຮັດໃຫ້ເກີດການລະເຫີຍລະເບີດ, ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນເທິງໜ້າດິນ - ນີ້ກຳນົດການທຳຄວາມສະອາດແບບປຽກດ້ວຍເລເຊີ.
3) ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນຊັອກເວຟດ້ວຍເລເຊີພລາສມາ
ຄື້ນຊ໊ອກພລາສມາເລເຊີຈະເກີດຂຶ້ນເມື່ອເລເຊີເຮັດໃຫ້ອາກາດເປັນຄື້ນຊ໊ອກພລາສມາຮູບຊົງກົມໃນລະຫວ່າງການສ່ອງແສງ. ຄື້ນຊ໊ອກເຫຼົ່ານີ້ຈະກະທົບໃສ່ຊັ້ນວາງ, ປ່ອຍພະລັງງານເພື່ອກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນໂດຍບໍ່ທຳລາຍຊັ້ນວາງ (ເລເຊີບໍ່ໄດ້ພົວພັນໂດຍກົງກັບຊັ້ນວາງ). ເທັກໂນໂລຢີນີ້ເຮັດຄວາມສະອາດອະນຸພາກທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍເຖິງຫຼາຍສິບນາໂນແມັດ ແລະ ບໍ່ມີຂໍ້ຈຳກັດກ່ຽວກັບຄວາມຍາວຄື້ນຂອງເລເຊີ.
ຫຼັກການທາງກາຍະພາບຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແມ່ນສະຫຼຸບໄດ້ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ກ) ລັງສີເລເຊີຖືກດູດຊຶມໂດຍຊັ້ນສິ່ງປົນເປື້ອນຢູ່ເທິງໜ້າຜິວເປົ້າໝາຍ.
ຂ) ການດູດຊຶມພະລັງງານສູງສ້າງພລາສມາທີ່ຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງໄວວາ (ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງທີ່ມີໄອອອນສູງ), ເຮັດໃຫ້ເກີດຄື້ນຊ໊ອກ.
ຄ) ຄື້ນຊັອກແຕກສ່ວນ ແລະ ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນ.
ງ) ກຳມະຈອນເລເຊີຕ້ອງສັ້ນພຽງພໍເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສະສົມຄວາມຮ້ອນທີ່ທຳລາຍຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ຈ) ການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນຮູບແບບພລາສມາຢູ່ເທິງໜ້າຜິວໂລຫະເມື່ອມີອົກໄຊ.
ການສ້າງພລາສມາເກີດຂຶ້ນພຽງແຕ່ຢູ່ເໜືອຂອບເຂດຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານເທົ່ານັ້ນ, ເຊິ່ງຂຶ້ນກັບຊັ້ນປົນເປື້ອນ ຫຼື ຊັ້ນອົກໄຊດ໌ທີ່ຈະຖືກກຳຈັດອອກ. ມີຂອບເຂດທີ່ສູງກວ່າອັນດັບສອງ, ເຊິ່ງເກີນກວ່ານັ້ນຊັ້ນຮອງພື້ນຈະຖືກເສຍຫາຍ. ເພື່ອຮັບປະກັນການທຳຄວາມສະອາດທີ່ມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ມີຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ, ພາລາມິເຕີເລເຊີຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບເພື່ອຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານກຳມະຈອນລະຫວ່າງສອງຂອບເຂດ.
ໃນປີ 2001, JM Lee ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານ ໄດ້ນຳໃຊ້ຄື້ນຊ໊ອກພລາສມາຈາກເລເຊີທີ່ມີພະລັງງານສູງ. ເລເຊີທີ່ມີພະລັງງານຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານ 2.0 J/cm² (ເກີນຂອບເຂດຄວາມເສຍຫາຍຂອງຊິລິກອນຫຼາຍ) ໄດ້ສ່ອງແສງແຜ່ນຊິລິກອນພ້ອມໆກັນ, ເຊິ່ງສາມາດກຳຈັດອະນຸພາກທັງສະເຕນ 1 μm ໄດ້ຢ່າງສຳເລັດຜົນ. ເວົ້າຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນຊ໊ອກພລາສມາດ້ວຍເລເຊີແມ່ນສ່ວນໜຶ່ງຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດແບບແຫ້ງ.
ໃນເບື້ອງຕົ້ນໄດ້ຖືກພັດທະນາຂຶ້ນເພື່ອກຳຈັດອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍອອກຈາກແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຕັກໂນໂລຊີການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີທັງສາມຊະນິດນີ້ໄດ້ຂະຫຍາຍໄປສູ່ການທຳຄວາມສະອາດຢາງລົດ, ການກຳຈັດສີຜິວເຮືອບິນ, ການຟື້ນຟູວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທຳ ແລະ ອື່ນໆ. ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາສາມາດຖືກເປົ່າໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນໃນລະຫວ່າງການສ່ອງແສງດ້ວຍເລເຊີເພື່ອກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຖືກແຍກອອກມາທັນທີ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຄືນໃໝ່ ແລະ ການຜຸພັງ.
ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີ
1) ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ: ການທຳຄວາມສະອາດແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຊັ້ນວັດສະດຸແສງ
ແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນແສງໄດ້ຜ່ານຂັ້ນຕອນການປະມວນຜົນທີ່ຄືກັນ (ການຕັດ, ການບົດ) ເພື່ອສ້າງຮູບຮ່າງທີ່ຕ້ອງການ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເປັນອະນຸພາກທີ່ຍາກທີ່ຈະກຳຈັດອອກ ແລະ ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະປົນເປື້ອນອີກ. ສິ່ງປົນເປື້ອນຢູ່ເທິງແຜ່ນເວເຟີເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບການພິມວົງຈອນຫຼຸດລົງ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິບສັ້ນລົງ. ໃນຊັ້ນຮອງພື້ນແສງ, ພວກມັນເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນແສງ ແລະ ການເຄືອບຫຼຸດລົງ, ເຮັດໃຫ້ການແຈກຢາຍພະລັງງານບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຫຼຸດລົງ.
ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບແຫ້ງດ້ວຍເລເຊີບໍ່ຄ່ອຍຖືກນຳໃຊ້ຢູ່ທີ່ນີ້ເນື່ອງຈາກຄວາມສ່ຽງໃນການທຳລາຍຊັ້ນວາງ, ໃນຂະນະທີ່ການເຮັດຄວາມສະອາດແບບປຽກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນຊ໊ອກພລາສມາມີການນຳໃຊ້ທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດຫຼາຍຢ່າງ. Xu Chuanyi ແລະ ທີມງານ ໄດ້ວາງສີແມ່ເຫຼັກຂະໜາດໄມຄຣອນເປັນຟິມໄດອີເລັກຕຣິກໃສ່ຊັ້ນວາງແສງທີ່ລຽບງ່າຍເປັນພິເສດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີແບບກະພິບມີປະສິດທິພາບ. ເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກສິ່ງເຈືອປົນທັງໝົດຈະເພີ່ມຂຶ້ນ, ແຕ່ຂະໜາດ ແລະ ການຄອບຄຸມຂອງມັນຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. Zhang Ping ໄດ້ສຶກສາຜົນກະທົບຂອງໄລຍະການເຮັດວຽກ ແລະ ພະລັງງານເລເຊີຕໍ່ປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມສະອາດສຳລັບອະນຸພາກທີ່ມີຂະໜາດແຕກຕ່າງກັນ. ການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າເລເຊີ 240 mJ ບັນລຸການເຮັດຄວາມສະອາດອະນຸພາກໂພລີສະໄຕຣີນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນແກ້ວທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້ໃນໄລຍະການເຮັດວຽກ 1.90 ມມ. ປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມສະອາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງດ້ວຍພະລັງງານເລເຊີທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະ ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າກໍ່ງ່າຍຕໍ່ການກຳຈັດອອກ.
2) ອຸດສາຫະກຳໂລຫະ: ການເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວໂລຫະ
ການເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວໂລຫະແນໃສ່ສິ່ງປົນເປື້ອນມະຫາພາກ: ຊັ້ນອົກໄຊ/ສະໜິມ, ສີ, ການເຄືອບ ແລະ ສິ່ງຕິດຄັດອື່ນໆ, ຈັດປະເພດເປັນສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີ (ສີ, ການເຄືອບ) ຫຼື ອະນົງຄະທາດ (ສະໜິມ). ການເຮັດຄວາມສະອາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການປະມວນຜົນ/ການນຳໃຊ້ຕໍ່ມາ: ຕົວຢ່າງ, ການກຳຈັດຊັ້ນອົກໄຊໜາ 10 μm ອອກຈາກໂລຫະປະສົມໄທທານຽມກ່ອນການເຊື່ອມ, ການລອກສີອອກຈາກຜິວໜັງເຮືອບິນເພື່ອທາສີໃໝ່, ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງເສດເຫຼືອຢາງຈາກແມ່ພິມຢາງລົດເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງແມ່ພິມ.
ໂລຫະມີຂອບເຂດຄວາມເສຍຫາຍສູງກວ່າຂອບເຂດການເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງປົນເປື້ອນຂອງມັນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການເຮັດຄວາມສະອາດມີປະສິດທິພາບດ້ວຍເລເຊີທີ່ໃຊ້ພະລັງງານຢ່າງເໝາະສົມ. ການນຳໃຊ້ທີ່ພັດທະນາແລ້ວລວມມີ: Wang Lihua ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າເລເຊີ 5.1 J/cm² ໄດ້ກຳຈັດຊັ້ນອົກໄຊອອກຈາກໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ A5083-111H ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະເລເຊີແບບ pulsed 100 W ໄດ້ທຳຄວາມສະອາດຊັ້ນອົກໄຊຂອງໂລຫະປະສົມ titanium ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ເພີ່ມຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວ. ຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດ (Raycus Laser, Han's Laser, Shenzhen Chuangxin) ໄດ້ສະໜອງອຸປະກອນທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີຢ່າງກວ້າງຂວາງສຳລັບການກຳຈັດແມ່ພິມຢາງ, ສະໜິມໂລຫະ ແລະ ນ້ຳມັນຊິ້ນສ່ວນ.
3) ການອະນຸລັກວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທໍາ: ການທໍາຄວາມສະອາດວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທໍາ ແລະ ສິ່ງປະດິດທີ່ເຮັດດ້ວຍເຈ້ຍ
ວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທຳທີ່ເຮັດດ້ວຍໂລຫະ ແລະ ຫີນມັກຈະສະສົມຝຸ່ນ, ຮອຍເປື້ອນນໍ້າມຶກ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນອື່ນໆຕາມການເວລາ, ເຊິ່ງຕ້ອງໄດ້ຮັບການກຳຈັດອອກເພື່ອຟື້ນຟູຮູບລັກສະນະເດີມ. ສິ່ງປະດິດທີ່ເຮັດດ້ວຍເຈ້ຍ (ຮູບແຕ້ມ, ການຂຽນດ້ວຍມື) ຈະເກີດເຊື້ອລາ ແລະ ແຜ່ນປ້າຍໃນລະຫວ່າງການເກັບຮັກສາທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສະພາບ ແລະ ຄຸນຄ່າທາງວັດທະນະທຳ/ປະຫວັດສາດຂອງມັນເສື່ອມໂຊມລົງຢ່າງຮ້າຍແຮງ.
Zhao Ying ແລະ ທີມງານໄດ້ຢັ້ງຢືນການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີ UV ຂອງແຜ່ນເຊື້ອລາເທິງເຈ້ຍເຂົ້າ: ການສະແກນຄັ້ງດຽວທີ່ 3.2 J/mm² ໄດ້ກຳຈັດແຜ່ນບາງໆອອກ, ໃນຂະນະທີ່ການສະແກນສອງຄັ້ງໄດ້ກຳຈັດອອກຢ່າງສົມບູນ; ພະລັງງານເລເຊີຫຼາຍເກີນໄປໄດ້ທຳລາຍເຈ້ຍ. Zhang Xiaotong ໄດ້ຟື້ນຟູສິ່ງປະດິດທອງສຳລິດດ້ວຍວິທີປຽກດ້ວຍເລເຊີ. Zhang Licheng ໄດ້ນຳໃຊ້ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີໃສ່ຮູບປັ້ນເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຜູ້ຍິງທີ່ທາສີຈາກລາຊະວົງຮັນ. Yuan Xiaodong ແລະ ທີມງານໄດ້ປະເມີນປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີສຳລັບວັດຖຸບູຮານຫີນ, ໂດຍປຽບທຽບຄວາມເສຍຫາຍຂອງຊັ້ນວາງ ແລະ ປະສິດທິພາບການກຳຈັດຮອຍເປື້ອນໝຶກ, ຄວັນ ແລະ ສີເທິງຫີນຊາຍ.
ສະຫຼຸບ
ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີແມ່ນເທັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ມີການຄົ້ນຄວ້າຢ່າງກວ້າງຂວາງ ແລະ ມີທ່າແຮງໃນການນຳໃຊ້ໃນການບິນອະວະກາດ, ອຸປະກອນການທະຫານ, ເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ຂົງເຂດຄວາມແມ່ນຍຳສູງອື່ນໆ. ມັນໄດ້ເຕີບໃຫຍ່ຂະຫຍາຍຕົວໃນຫຼາຍອຸດສາຫະກຳຍ້ອນປະສິດທິພາບ, ຄວາມເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ຜົນການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ດີເລີດ, ການນຳໃຊ້ຂອງມັນຍັງສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ. ນອກເໜືອໄປຈາກການກຳຈັດສີ ແລະ ສະໜິມທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ, ຄວາມກ້າວໜ້າທີ່ຜ່ານມາລວມມີການເຮັດຄວາມສະອາດຊັ້ນອອກໄຊດ໌ດ້ວຍເລເຊີໃນສາຍໂລຫະ. ການພັດທະນາໃນອະນາຄົດແມ່ນຂຶ້ນກັບການຂະຫຍາຍການນຳໃຊ້ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ, ເຂົ້າສູ່ຂົງເຂດໃໝ່ ແລະ ການປະດິດສ້າງອຸປະກອນ:
- ເສີມສ້າງການຄົ້ນຄວ້າທາງທິດສະດີເພື່ອນຳພາການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ. ການຄົ້ນຄວ້າໃນປະຈຸບັນແມ່ນອີງໃສ່ການທົດລອງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຂາດຂອບທິດສະດີທີ່ສົມບູນ. ການສ້າງຂອບດັ່ງກ່າວແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍຕໍ່ຄວາມສົມບູນທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຊີ.
- ຂະຫຍາຍການນຳໃຊ້ໃນຂົງເຂດທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ ແລະ ຂົງເຂດໃໝ່. ການນຳໃຊ້ທີ່ເກີດຂຶ້ນໃໝ່ລວມມີການເຮັດຄວາມສະອາດລວດໂລຫະອອກໄຊ, ເຊິ່ງເປັນພື້ນທີ່ອຸດົມສົມບູນສຳລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕ.
- ພັດທະນາອຸປະກອນເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເລເຊີໃໝ່, ໂດຍແບ່ງອອກເປັນອຸປະກອນທົ່ວໄປຫຼາຍຈຸດປະສົງ (ເຊັ່ນ: ການກຳຈັດສີ/ສະໜິມຮ່ວມກັນ) ແລະ ເຄື່ອງມືພິເສດ (ເຊັ່ນ: ອຸປະກອນ/ເສັ້ນໄຍທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບພື້ນທີ່ຈຳກັດ). ອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບຜ່ານການເຊື່ອມໂຍງກັບຫຸ່ນຍົນອຸດສາຫະກຳແມ່ນທິດທາງທີ່ມີຄວາມຫວັງ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 14 ພຶດສະພາ 2026
